Technologia mikroobróbki to bardzo elastyczny proces, który pozwala na produkcję mikroelementów o skomplikowanych kształtach. Ponadto może być stosowany do szerokiej gamy materiałów. Jego zdolność adaptacji sprawia, że jest szczególnie odpowiedni do szybkiego działania od pomysłu do prototypu, wytwarzania złożonych struktur 3D oraz iteracyjnego projektowania i rozwoju produktu,
1. Fizyczna technologia mikroobróbki
Obróbka wiązką laserową: proces przetwarzania, który wykorzystuje energię cieplną kierowaną przez wiązkę laserową do usuwania materiałów z powierzchni metalowych lub niemetalowych. Jest bardziej odpowiedni do kruchych materiałów o niskiej przewodności, ale może być stosowany do większości materiałów.
Obróbka wiązką jonów: ważna niekonwencjonalna technologia produkcji w mikro/nanoprodukcji. Wykorzystuje przyspieszony przepływ jonów w komorze próżniowej do usuwania, dodawania lub modyfikowania atomów na powierzchni obiektu.
2. Technologia mikroobróbki chemicznej
Reaktywne wytrawianie jonowe (RIE): proces plazmowy, w którym substancje są wzbudzane przez wyładowanie RF w celu wytrawiania podłoży lub filmów w komorze niskiego napięcia. Jest to synergiczny proces chemicznych substancji aktywnych i bombardowania jonami wysokoenergetycznymi.
Obróbka elektrochemiczna (ECM): metoda usuwania metali za pomocą procesów elektrochemicznych. Jest zwykle używany do produkcji na dużą skalę i przetwarzania niezwykle twardych materiałów lub materiałów, które są trudne do obróbki tradycyjnymi metodami. Jego zastosowanie ogranicza się do materiałów przewodzących. ECM może ciąć małe lub nieregularne kąty, złożone kontury lub wgłębienia w twardych i rzadkich metalach.
3. Technologia mikroobróbki mechanicznej
Toczenie diamentowe: proces toczenia lub obróbki precyzyjnych elementów na tokarce lub maszynie pochodnej wyposażonej w wiertło z diamentem naturalnym lub syntetycznym.
Frezowanie diamentowe: proces cięcia, który można wykorzystać do wygenerowania asferycznej matrycy soczewek poprzez cięcie kołowe za pomocą sferycznego narzędzia diamentowego.
Szlifowanie precyzyjne: obróbka ścierna, która umożliwia obróbkę przedmiotu w celu uzyskania dokładnego wykończenia powierzchni i bardzo wąskiej tolerancji 0.0001”.
Polerowanie: obróbka ścierna, polerowanie wiązką jonów argonu jest dość stabilnym procesem, który służy do wykańczania luster teleskopowych i korygowania błędów resztkowych polerowania mechanicznego lub toczenia diamentów urządzeń optycznych. Proces MRF jest pierwszym deterministycznym procesem polerowania. Skomercjalizowana i wykorzystywana do produkcji soczewek asferycznych, reflektorów itp.
